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/ 新时代物理教学实验仪器、光谱分析仪器的传承者
YCL-13薄膜测厚仪
此款薄膜测厚仪根据多次反射光谱相干原理研发而成，本仪器可提供非接触测量薄膜厚度，折射率， 吸收系数等，采用最新软件版本，具有纳米级精确测量和方便使用等优点；测量方便度和准确度好于常用的光学椭偏仪。是镀膜研究、光学镀膜和半导体生产不可或缺的测量研究仪器。
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YCL-13薄膜测厚仪
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YCL-13薄膜测厚仪
此款薄膜测厚仪根据多次反射光谱相干原理研发而成，本仪器可提供非接触测量薄膜厚度，折射率， 吸收系数等，采用最新软件版本，具有纳米级精确测量和方便使用等优点；测量方便度和准确度好于常用的光学椭偏仪。是镀膜研究、光学镀膜和半导体生产不可或缺的测量研究仪器。
实验原理和内容：
主要配置及参数：
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厚度范围 |
20nm-50nm,只测膜厚；100nm-10μm同时测量膜厚和光学常数 |
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准确度 |
小于1nm或小于0.5% |
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重复性 |
0.1nm |
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波长范围 |
380nm-1000nm |
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可测层数 |
1-4层 |
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样品尺寸 |
镀膜区直径大于1.2mm |
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测量速度 |
5s-60s |
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光斑直径 |
1.2mm-10mm可调 |
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