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/ 新时代物理教学实验仪器、光谱分析仪器的传承者
YCL-4A椭圆偏振测厚仪
手动椭圆偏振测厚仪使用消光法测量薄膜厚度和折射率,手动调节测试过程中的起偏和检偏角度,椭圆偏振法广泛地应用于固体基片上介质薄膜的测量;在己有测定薄膜厚度的方法中,它是能测量到最薄和精度最高的一类。
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YCL-4A椭圆偏振测厚仪
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YCL-4A椭圆偏振测厚仪
手动椭圆偏振测厚仪使用消光法测量薄膜厚度和折射率,手动调节测试过程中的起偏和检偏角度,椭圆偏振法广泛地应用于固体基片上介质薄膜的测量;在己有测定薄膜厚度的方法中,它是能测量到最薄和精度最高的一类。
实验原理和内容:

主要配置及参数:
|
测量范围 |
1nm-300nm |
|
测量最小值 |
≤1nm |
|
入射角 |
30°-90°误差小于等于0.1° |
|
读数范围 |
0°-180° |
|
工作台直径 |
70mm |
|
中心高度 |
152mm |
|
度盘刻度 |
每格2° |
|
最小读数 |
0.05° |
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